반도체의 고정밀화와 고집적화에 따라 고품질의 공업용수 공급에 대한 수요는 날로 증가하고 있으며, 고품질 공업용수로 사용되는 초순수를 만들기 위하여 자외선 설비는 필수입니다.
반도체의 고용량, 고집적화에 따른 패턴의 미세화로 인하여 세척을 위해 사용되는 초순수의 요구 수질 기준이 상향되고 있으며, 세계적으로 반도체의 수요가 증가함에 따라 초순수의 생산량도 증가하고 있습니다.
TOC 자외선 설비는 생산 공정에서 TOC(Total Organic Carbon) 농도를 저감시키기 위해 초순수에 강한 에너지를 가지는 VUV 파장의 자외선을 조사하여 물분자의 광분해를 통해 생성되는 하이드록시 라디칼(OH Radical)을 이용하여 초순수 내의 유기탄소를 산화하여 카보네이트나 바이카보네이트로 전환시켜 제거할 수 있습니다.
